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SEM全稱Scanning Electron Microscope，即掃描電鏡，是一種用于高分辨率微區(qū)形貌分析的大型精密儀器。想要了解SEM表征檢測主要檢測的什么，需要先了解SEM，如SEM掃描電鏡的工作原理，其主要檢測哪些內(nèi)容，檢測的樣品是哪些，樣品分別都有什么需求。
SEM檢測的工作原理
SEM掃描電鏡是一種介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀觀察手段，能夠直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能來進行微觀成像。其原理是當具有一定能力的電子束轟擊樣品表面的時候，電子與物質(zhì)元素的原子核以及外層的電子產(chǎn)生了單次或者多次的碰撞，一些電子反射出樣品的表面，而一部分則滲入樣品中，被樣品所吸收。在該過程當中，大部分的電子能量會轉(zhuǎn)換成樣品熱能，而剩下的則會在其中激發(fā)出各種信號。
SEM表征檢測的應(yīng)用范圍
SEM表征檢測可應(yīng)用于微觀形貌、顆粒尺寸、微區(qū)組成、元素分布、元素價態(tài)和化學(xué)鍵、晶體結(jié)構(gòu)、相組成、結(jié)構(gòu)缺陷、晶界結(jié)構(gòu)和組成等。SEM一般通過組合EDS使用，可利用EDS進行元素成分定性、定量分析。用來觀測芯片內(nèi)部層次和測量各層厚度、觀測并拍攝局部異常照片和測量異常尺寸、測量芯片關(guān)鍵尺寸線寬和孔徑、定性和定量分析異常污染物的化學(xué)元素組成。
SEM樣品的要求
1、粉末樣品基本要求
?。?）單顆粉末尺寸最好小于1μm；
?。?）無磁性；
?。?）以無機成分為主，否則會造成電鏡嚴重的污染，高壓跳掉，甚至擊壞高壓槍；
2、塊狀樣品基本要求
（1）需要電解減薄或離子減薄，獲得幾十納米的薄區(qū)才能觀察；
?。?）如晶粒尺寸小于1μm，也可用破碎等機械方法制成粉末來觀察；
?。?）無磁性。
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